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纯水（超纯水）系统工艺手艺之辅助处置惩罚工艺

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宣布时间：2024-06-12 09:34

纯水（超纯水）系统工艺手艺之辅助处置惩罚工艺

工艺处置惩罚辅助说明

1：消鸩杀菌手艺；2：氮气封存水箱要领；3：最后过滤手艺

工艺辅助处置惩罚的简介

整合预处置惩罚工艺和焦点处置惩罚工艺，形成完整的（超）纯水制备流程。主要目的是包管装备的稳固运行，延伸焦点耗材的使用寿命。辅助处置惩罚工艺包括加药、杀菌消毒（如紫外线、臭氧、巴氏等）、氮封封装（水箱）、终端过滤等。

注重：辅助处置惩罚和预处置惩罚工艺保存双重界说的问题，前文已先容过加药和脱气膜等工艺，因此在这里不再详细先容。

1、消鸩杀菌工艺

制备纯水时通常使用的杀菌消毒工艺包括紫外线消鸩杀菌、去除TOC、臭氧杀菌、巴氏消毒、二氧化氯消毒等。

UV光杀菌和去除TOC

紫外线消毒器使用波长254纳米的紫外线，通过破损微生物的DNA结构，来实现杀死纯水中的细菌和微生物，以预防细菌污染，同时可消除水中剩余的臭氧分子。常见的紫外线消毒器分为管道式和嵌入式两种。

TOC去除装置使用波长为185纳米的紫外线举行催化作用，能够剖析有机分子，引发水分子爆发高氧化能力的羟基自由基，进而将水中的有机物氧化剖析为二氧化碳和水，以降低超纯水中的TOC含量。

注重：UV杀菌器单独使用时应安排在EDI水箱后，可起到终端杀菌消毒的作用。若UV杀菌器与TOC脱除器配合使用，UV杀菌器需安排在EDI装置和EDI水箱之间，TOC脱除器需安排在EDI水箱和抛光树脂装置之间，由于经由TOC脱除器处置惩罚的纯水在电剖剖析后电阻率会下降，后续会毗连抛光树脂装置。装置UV杀菌器和TOC脱除器时，应注重它们与水泵的前后位置和距离，以阻止水锤征象可能对装备造成损害。

臭氧杀菌

臭氧是一种能普遍杀菌的药剂，可以有用地杀灭细菌、病毒和真菌等微生物。它的杀菌原理是通过氧化作用破损微生物膜的结构，导致细菌消融殒命，或破损病毒的RNA和DNA。臭氧爆发器通常由主机、管路、反应室和排放管等部分组成。

臭氧（O3）的消毒原理是：在常温、常压下，臭氧的分子结构不稳固，会快速剖析成氧气（O2）和单个氧原子（O）。这种单个氧原子具有极强活性，可对细菌爆发氧化作用，致使其殒命；特另外氧原子也会自觉地重组成通俗的氧气分子（O2），不会残留任何有毒物质，因此被称为无污染消毒剂。臭氧不但对种种细菌（包括肝炎病毒、大肠杆菌、绿脓杆菌和杂菌等）有强盛的致死能力，对霉素的灭杀作用也十分有用。

巴氏杀菌

加热液体到特定温度并坚持一段时间，这个历程是为了祛除可能导致疾病、糜烂或不须要的微生物的。这主要应用在超纯水装备（纯清水）中的活性炭等预处置惩罚部分的按期消毒，RO/EDI部分的按期消毒，以及贮存与分派管网部分的按期消毒。

巴氏灭菌消毒是一种全系统性的辅助工艺，被普遍应用于纯清水和医用纯清水领域，用于恒久对装备系统举行杀菌消毒和维护。

漂白消毒

与古板的浓氯和次氯酸消毒要领相比，二氧化氯消毒虽然在听起来类似，但着实作用原理完全差别。二氧化氯不是一种氯化合物，由于它的杀菌机制不是依赖有用氯，而是靠二氧化氯分子自己。

氯气消毒的原理是当氯气在水中时，它能够吸附在病毒、细菌和微生物的细胞外貌，穿透细胞膜，进入细胞内部，直接氧化细胞内的硫氨基酸、色氨酸和酪氨酸等物质，从而杀灭细菌。别的，氯气还能控制微生物的卵白质合成，对真菌具有显著的杀灭作用。

消毒后的残留物只包括水、食盐、二氧化碳和少量有机糖等绝对无害因素。常用于处置惩罚自然水源的消毒预处置惩罚。

2、氮气灌装手艺

用氮气充入水箱，坚持正压力，避免杂质溶入水，污染水质，且阻止空气接触水面。超纯水若是受到二氧化碳、细菌等污染，在空气中，由于其高纯度，可以强力消融这些杂质。因此，超纯水一旦接触空气，电阻率将显著下降。

3、终端过滤工艺 --> 终端过滤手艺

古板的超纯水系统通常使用微米级精滤器，一样平常会选择0.1μm/0.22μm微孔折叠膜滤芯举行过滤，以扫除超纯水中的细小颗粒和细菌，截留可能脱落的混床树脂，确保所爆发的水质坚持稳固。

在半导体行业中通常使用超滤器作为终端过滤器，它的作用类似于微滤器，只是相关的手艺要求更为严酷。通常需要能够过滤掉相当于6000Da分子量的细小颗粒，有用地去除大部分微量污染物。

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